Konge Machining paati
Ga-Q Ajọ nilo lalailopinpin giga konge ni paati ẹrọ. Paapaa awọn iyapa kekere ni iwọn, apẹrẹ, tabi ipo le ni ipa pataki iṣẹ àlẹmọ ati ifosiwewe Q. Fun apẹẹrẹ, ninu awọn asẹ iho, awọn iwọn ati aibikita dada ti iho naa taara ni ipa-ifosiwewe Q. Lati ṣe aṣeyọri Q-ifosiwewe ti o ga, awọn paati gbọdọ wa ni ẹrọ pẹlu pipe to gaju, nigbagbogbo nilo awọn imọ-ẹrọ iṣelọpọ ilọsiwaju bii ẹrọ CNC ti o tọ tabi gige laser. Awọn imọ-ẹrọ iṣelọpọ aropo bii yo lesa yiyan ni a tun lo lati mu ilọsiwaju ti konge paati ati atunwi.

Aṣayan Ohun elo ati Iṣakoso Didara
Aṣayan ohun elo fun awọn asẹ giga-Q jẹ pataki. Awọn ohun elo pẹlu pipadanu kekere ati iduroṣinṣin to gaju ni a nilo lati dinku pipadanu agbara ati rii daju iṣẹ iduroṣinṣin. Awọn ohun elo ti o wọpọ pẹlu awọn irin mimọ-giga (fun apẹẹrẹ, Ejò, aluminiomu) ati awọn dielectrics pipadanu kekere (fun apẹẹrẹ, awọn ohun elo alumina). Sibẹsibẹ, awọn ohun elo wọnyi nigbagbogbo jẹ gbowolori ati nija lati ṣe ilana. Ni afikun, iṣakoso didara to muna jẹ pataki lakoko yiyan ohun elo ati sisẹ lati rii daju pe aitasera ni awọn ohun-ini ohun elo. Eyikeyi impurities tabi abawọn ninu awọn ohun elo le ja si agbara pipadanu ati ki o din Q-ifosiwewe.

Apejọ ati Tuning konge
Ilana ijọ funga-Q Ajọgbọdọ jẹ kongẹ pupọ. Awọn paati nilo lati wa ni ipo deede ati pejọ lati yago fun aiṣedeede tabi awọn ela, eyiti o le dinku iṣẹ àlẹmọ naa. Fun awọn asẹ giga-Q ti o le tun ṣe, iṣọpọ ti awọn ọna ṣiṣe atunṣe pẹlu iho àlẹmọ jẹ awọn italaya afikun. Fun apẹẹrẹ, ninu awọn asẹ resonator dielectric pẹlu awọn ọna ṣiṣe tuning MEMS, iwọn awọn oṣere MEMS kere pupọ ju resonator lọ. Ti o ba ti resonator ati MEMS actuators ti wa ni se lọtọ, awọn ijọ ilana di eka ati ki o leri, ati awọn aiṣedeede diẹ le ni ipa lori awọn àlẹmọ ká tuning išẹ.

Iṣeyọri bandiwidi Ibakan ati Imudara
Ṣiṣeto àlẹmọ afọwọṣe giga-Q pẹlu bandiwidi igbagbogbo jẹ nija. Lati ṣetọju bandiwidi igbagbogbo lakoko yiyi, Qe ti kojọpọ ita gbọdọ yatọ taara pẹlu igbohunsafẹfẹ aarin, lakoko ti awọn isọpọ-resonator gbọdọ yatọ ni idakeji pẹlu igbohunsafẹfẹ aarin. Pupọ julọ awọn asẹ tunable ti o royin ninu iwe-kikọ ṣe afihan ibajẹ iṣẹ ati awọn iyatọ bandiwidi. Awọn ilana bii itanna iwọntunwọnsi ati awọn asopọ oofa jẹ oojọ ti lati ṣe apẹrẹ awọn asẹ bandiwidi igbagbogbo, ṣugbọn iyọrisi eyi ni iṣe ṣi nira. Fun apẹẹrẹ, àlẹmọ iho meji-ipo TE113 tunable ni a royin lati ṣaṣeyọri Q-ifosiwewe giga ti 3000 lori sakani yiyi rẹ, ṣugbọn iyatọ bandiwidi rẹ tun de ± 3.1% laarin iwọn yiyi kekere kan.

Awọn abawọn iṣelọpọ ati iṣelọpọ ti o tobi
Awọn aiṣedeede ti iṣelọpọ gẹgẹbi apẹrẹ, iwọn, ati awọn iyapa ipo le ṣe afihan afikun ipa si ipo naa, ti o yorisi sisopọ ipo ni awọn aaye ti o yatọ ni k-aaye ati ṣiṣẹda awọn ikanni radiative afikun, nitorina o dinku Q-ifosiwewe. Fun awọn ẹrọ nanophotonic-ọfẹ, agbegbe iṣelọpọ ti o tobi julọ ati awọn ikanni adanu diẹ sii ti o ni nkan ṣe pẹlu awọn ohun elo nanostructure jẹ ki o nira lati ṣaṣeyọri awọn ifosiwewe Q giga. Lakoko ti awọn aṣeyọri idanwo ti ṣafihan awọn ifosiwewe Q ga bi 10⁹ ni awọn microresonators lori chip, iṣelọpọ titobi nla ti awọn asẹ giga-Q jẹ gbowolori nigbagbogbo ati n gba akoko. Awọn ilana bii fọtolithography greyscale ni a lo lati ṣe iṣelọpọ awọn ọna àlẹmọ wafer-iwọn, ṣugbọn iyọrisi awọn ifosiwewe Q-giga ni iṣelọpọ ọpọ jẹ ipenija

Iṣowo-pipa Laarin Iṣe ati idiyele
Awọn asẹ giga-Q ni igbagbogbo nilo awọn apẹrẹ eka ati awọn ilana iṣelọpọ pipe-giga lati ṣaṣeyọri iṣẹ ṣiṣe ti o ga julọ, eyiti o mu awọn idiyele iṣelọpọ pọ si ni pataki. Ni awọn ohun elo ti o wulo, iwulo wa lati ṣe iwọntunwọnsi iṣẹ ati idiyele. Fun apẹẹrẹ, imọ-ẹrọ micromachining silikoni ngbanilaaye fun iṣelọpọ ipele idiyele kekere ti awọn resonators tunable ati awọn asẹ ni awọn ẹgbẹ igbohunsafẹfẹ kekere. Bibẹẹkọ, iyọrisi awọn ifosiwewe Q-giga ni awọn ẹgbẹ igbohunsafẹfẹ giga jẹ airotẹlẹ. Apapọ ohun alumọni RF MEMS ọna ẹrọ tuning pẹlu iye owo-doko abẹrẹ igbáti imuposi nfun kan ti o pọju ojutu fun ti iwọn, kekere-iye owo ẹrọ ti ga-Q Ajọ nigba ti mimu ga išẹ.